二手 K&S 6100 #9363104 待售

K&S 6100是一種先進的自動化晶圓鍵合設備，設計用於半導體行業的一系列鍵合過程。6100設計用於一次處理多達八個晶片,它包括最先進的精密調平器功能、先進的晶片處理運動系統和高性能成像系統。K&S 6100配備精密調平臺。這樣可以對每個晶片的姿態進行傾斜和扭曲調整,從而實現晶片相對於彼此的精確對齊-即使晶片尺寸不均勻-並減少手動幹預的需要。它提供對俯仰、側傾和偏航的控制，以及一個主動的隆起補償單元。6100還包括一個充滿氮氣/氧氣氣氛的高溫工藝室。該腔室為陽極、共晶、熱壓結合等鍵合過程提供了理想的環境。使用此機器,用戶可以執行高達850 °C的高溫過程。內置的視覺工具簡化了對齊,可以準確放置粘結站點。K&S 6100提供各種自動化選項,以提高吞吐量和生產率。用戶最多可以串聯或並行執行兩個綁定過程,並為多個或快速綁定站點提供選項。自動晶圓處理軟件還允許將晶圓手動放置到粘結部位。最後，6100包含了多種安全和校準特性。這包括各種安全聯鎖，以保護用戶和組件免受計劃外事件的影響，以及專門的晶圓和鍵接口校準程序。簡而言之，K&S 6100是一種自動化的晶圓粘合資產，旨在簡化執行半導體行業所使用的高級粘結工藝的過程。該模型具有精密調平臺、高溫加工室以及各種自動化特性，可提高吞吐量和安全性。