二手 KARL SUSS / MICROTEC SB 6 Vac #293585733 待售
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ID: 293585733
Wafer bonder, parts system
With VARIAN Turbo-V70 Vacuum pump and controller
BERTAN 206B High voltage power supply
BALZERS SingleGauge Vacuum gauge
Computer missing.
KARL SUSS/MICROTEC SB 6 Vac是一種功能強大的中型半導體鍵合器,旨在方便各類半導體和光電元件的直接鍵合。MICROTEC SB 6 Vac能夠高效、準確地執行連續進料和手動進料工藝,最大粘結面積為6平方毫米(mm2),最小粘結面積為3 mm2。該機利用光學成像傳感器、視覺處理系統和基於目標的避撞技術,以精確處理小批量的半導體芯片、晶片和基板。安裝在KARL SUSS SB6 VAC上的光學元件也可用於粘結驗證和對準。在精度方面,SB 6 Vac能夠在XY軸上實現0.025 mm的垂直分辨率和± 0.01 mm的精度。此外,可調節壓力高達100巴提供可靠的附著基板,同時減少空隙和芯片。KARL SUSS SB 6 Vac是直觀的,允許任何技能級別的操作員在進程處於活動狀態或處於待機模式時將參數輸入其用戶友好界面。這使用戶能夠快速創建和編輯作業配方、熱輪廓和工藝參數。該系統為用戶提供了長期的正常運行時間,因為它具有高效的五軸機械臂,可以進行廣泛的移動。此外,該系統還采用了與各種平臺和晶圓尺寸兼容的快速晶圓穿梭器,從100毫米晶圓到200毫米晶圓。KARL SUSS/MICROTEC SB6 VAC配備了激光安全功能、外殼安全聯鎖、綜合操作員安全標準等多種安全功能。這樣可以確保操作員和設備的完整性。總體而言,SB6 VAC是一個輕巧、高效和高度精確的半導體鍵合平臺。MICROTEC SB6 VAC的運動範圍廣,精度高,適用於各種精密粘合應用。此外,它的用戶友好型設計使其非常適合缺乏經驗和經驗豐富的用戶。
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