二手 LAM RESEARCH 2080 TCU #9252338 待售

LAM RESEARCH 2080 TCU是一種冷卻器循環換熱器，旨在為半導體晶圓加工中使用的液體提供可靠高效的傳熱。它具有全散熱能力，是光刻、沈積、蝕刻和CMP工藝等應用的理想選擇。該機組采用獨特的兩級逆流冷凝器/蒸發器設計，由一個不銹鋼管殼式熱交換器和一個獨立的制冷劑電路組成。逆流配置允許蒸發器放置在冷凝器的上遊，以達到更高的效率。高壁傳熱系數也降低了總熱負荷要求，允許較低的工作溫度。2080 TCU還利用兩臺有色電動機優化冷卻器和晶圓加工流體之間的熱傳遞。這種組合確保了精確和一致的溫度控制。馬達與兩個泵和一個不銹鋼文丘裏管結合，產生所需的差動壓力。還包括一個可調流量控制器，用於調節冷卻器的流量，以滿足應用的具體要求。LAM RESEARCH 2080 TCU設計方便用戶,采用標準的5.7英寸觸摸面板,便於訪問控制參數。此面板還顯示有關系統運行的反饋,包括溫度、壓力和流量信息。它還包括與其他控制系統的通信，使其易於集成到任何現有的流程中。這種熱交換器設計用於清潔、低汙染的化學品，確保晶片在整個加工過程中保持清潔。它還具有低維護設計,在峰值效率下運行時需要最小的清潔和維護。總體而言,2080 TCU是需要精確和一致熱控制的半導體工藝應用的理想解決方案。其高效的設計、用戶友好的界面和幹凈的操作，使其成為尋求提高工藝效率的晶圓制造商的絕佳選擇。