二手 KOMATSU NTC MWM 442DM #9401391 待售

KOMATSU NTC MWM 442DM是一種現代晶體生長、鋸切設備，用於生產高精度、單晶基板。該系統采用高斜角傾斜激光對準器和緊湊的模塊化設計,可快速設置、移動和重新配置,以滿足多種配置和處理需求。自動鋸切模塊采用直線電動機驅動器,帶有自動夾緊、傾斜和自動定心裝置,以確保精確切割。該機還具有多光束和多焦點成像技術，可精確對準和掃描不斷增長的基板。該工具的生長腔室具有精確的壓電區域加熱資產，能夠精確控制基板所有區域的加熱。通過對溫度、大氣、氧化和大氣壓力的精確控制，提高了精度和可重復性。該模型包括一個閉環，氮大氣控制設備，確保精確和一致的氧化物水平，可重復基材質量。該系統還包括用於實時檢查和保證精確操作條件的溫度和大氣傳感器。此外，該裝置還配備了獨特的高真空、超純化工藝，以減少顆粒汙染、汙染物顆粒和表面粗糙度。這樣可以確保更持久的基材和一致、高質量的最終產品。為了達到最大吞吐量，機器包括一個連續旋轉的6軸機械臂。這種精確控制的機器人模塊確保了過程中快速準確的移動。自動控制工具以最小的位置和步長變化來不斷調整旋轉機械臂的速度和壓力。該資產被設計用於使用範圍最廣的晶圓，最大晶圓尺寸為400毫米。該模型還具有去除表面缺陷的爆珠表面處理、增強表面質量的高壓化學機械拋光處理和提高結晶結構域穩定性的熱處理工藝。KOMATSU NTC MWM-442DM是生產單晶基板的可靠高精度設備。它高效、準確，為各種應用提供優質基材。