二手 KOMATSU PV500D #9228707 待售

KOMATSU PV500D是為研發先進半導體和電子材料而設計的高性能晶體生長、鋸切和切片設備。它是一個多功能系統，能夠以高精度和生產率實現單晶生長、切片、鋸切的重要過程。PV500D由多種組件組成,包括一個裝有冷Crucible饋線裝置的真空室、一個晶閘管控制的直流電源和一個負載鎖門。它旨在支持在大氣、真空或惰性氣體中進行的實驗。真空室能夠達到4E-5毫巴的壓力，晶體生長。冷坩堝進料機由石英和石英塗層不銹鋼制成。它由一個隔熱的不銹鋼主體和一個藍寶石crucible組成。用於晶體生長的crucible可利用電源加熱至1300 °C，冷卻至700 °C。負載鎖門最多可容納三種不同的基板，用於一批晶體的生長。KOMATSU PV500D現在還支持生長板層壓技術（GPLT），用於同時生長大晶體和多個基板。功率設置、壓力和溫度等負載參數可以使用用戶友好的圖形用戶界面進行控制。此外，該裝置還與一臺熱測繪機集成在一起，以監測crucible中的冷卻/加熱能力，以確保晶體均勻生長。對於鋸切工藝，PV500D配備了Segoma金剛石刀鋸和切片手輪。最多可在負載鎖門中裝載三個基板用於鋸切。Segoma鋸由於其可調的金剛石刀片，非常適合高精度切片。它還有一個旋轉底座，使快速旋轉和高精度切割操作。切片手輪用於將晶片從負載鎖移動到鋸。總體而言，KOMATSU PV500D是一種多用途和生產性的晶體生長、鋸切和切片工具，為科學家和研究人員提供了生長高質量單晶並精確切片的能力。其易用性使其成為研究實驗室和生產設施的完美工具。