二手 MEYER BURGER TS 116 #160564 待售

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ID: 160564
晶圓大小: 4"-6"
Slicing Machine, 4" to 6" For automatic slicing of ceramic materials, ferrite, quartz, optical glass Slicing blade dia.: 100-150mm Controller: GE Fanuc Series O-M (1999 vintage) Fixed spindle speed range from 2500-8000 RPM Longitudinal path: 300 mm Cross path: 140 mm Vertical path: 100 mm Resolution in all 3 axes: 0.001 mm Feed speeds programmable from 5-2000 mm/min Workable: 300 x 150 mm Distance spindle axis workable: 50-150 mm 1989 vintage.
MEYER BURGER TS 116是一種尖端的自動化晶體生長和鋸切/切片設備,專為從單晶鑄幣切割薄晶片而設計。該系統的占地面積很小,可以高效生產直徑達6英寸的晶片,同時容納大量材料。自動晶體生長單元裝有單閘閥的多元素爐,允許各種材料系統中的晶體高效生長。該機器能夠單晶生長以及多晶生長,以及回火和熔化過程。用戶友好的工具還包括集成安全系統、PID控制和真空兼容性,以及低噪聲操作。資產的鋸切/切片階段能夠從一個鑄鐵切割各種類型的薄片。利用最新的鋸切技術,利用最小的材料浪費,生產出高精度、高產的薄片。6軸控制設備與鋸切單元一起工作,確保提高晶圓切割和切片的精度。該系統還提供參數內存、集成的過程控制和監控等更新的可用性功能,以及方便診斷故障的幫助空間。此外,TS 116還提供Industry 4.0連接以及實時流程監控和數據日誌記錄。一個集成的稱重單元允許自動裝載和卸載楔形材料的原材料。此外,通過緩沖器滑動臺提供過程間材料傳輸,從而使材料在晶體生長和晶片鋸切/切片階段之間的傳輸速度更快、效率更高。總體而言,MEYER BURGER TS 116是一款先進高效的晶體生長和鋸切/切片機,結合了卓越的可用性特點和適合工業生產的可靠安全操作。TS 116是尖端晶體生長和鋸切應用的理想選擇,它具有生產優質薄晶片的能力,而且材料浪費極少。
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