二手 MEYER BURGER TS 23 #9019705 待售

MEYER BURGER TS 23晶體生長、鋸切和切片設備是一種現代化、最先進的機器，設計用於高精度矽片生產的頂級研究和生產。該系統提供可靠、穩定和可重復的結果。MEYER BURGER TS23是一個三級單元，經過優化，可用於生長矽晶體，將生長的晶片鋸切成片，最後研磨拋光芯片。三級機包括生長室、切片室和整理室。生長室設有垂直安裝的超高溫熱區，含矽氣體被加熱到約1470 °C。高溫時氣體分子電離，含矽氣體分解。矽蒸發，以薄、均勻、單晶層的形式沈積在基板表面上。生長室可以配備水平或垂直基板支架。切片室能夠鋸切、切片和裝袋晶片。它配備了一個高真空切片頭，在那裏晶片可以被控制的、非常精確的方式切成碎片，精確地平行於晶體表面。精加工室專用於晶片的研磨和拋光。為此，它配備了精密研磨和拋光工具，如金剛石塗層磨料。TS-23用戶友好且易於維護。該工具的主要組件由於其自對準腔室組件而具有中央可及性和用戶友好性。資產的綜合安全特性有助於確保用戶安全。該型號配備了緊急停止按鈕、激光眼部保護設備和防護手套箱系統。MEYER BURGER TS-23單元適用於多種應用，包括MOCVD、MBE和BCD生產，以及半導體和MEMS器件晶片的生產。通過使用該機器，研究人員和公司可以生產高質量、高精度和可靠的矽片。