二手 MEYER BURGER TS 23 #9409189 待售

MEYER BURGER TS 23是一款專門為先進的3「和4」晶圓生產而設計的自動化晶體生長、鋸切設備。該系統包括電化學晶體生長、鋸切和切片技術的優化組合。MEYER BURGER TS23電化學晶體生長單元可以生產先進的多晶體元寶，其起始原料種類繁多，包括GaN和相關化合物。生長室經過專門設計，可提供均勻的溫度控制和低熱梯度，以獲得最佳的生長性能。該機還配備了先進的過程監控系統，對電化學過程進行精確控制。該工具配備了先進的X射線偏轉鋸鋸單元，針對3「和4」晶圓的生產進行了優化。鋸切機的設計是提供平滑的鋸切與最小的功耗和最大的生產力。此外，資產還配備了多指拾取和放置自動化模型，可用於在鋸切前精確放置和對齊晶片。TS-23還配備了切片設備，可以精確切割晶片。這包括一個專利旋轉切片技術，最小化晶圓缺陷。此外，該系統還采用先進的激光掃描顯微鏡對切削晶片進行精確檢查。簡而言之，TS23是一個全自動的單元，允許精確處理3「和4」多結晶的元寶。該機配備了先進的工藝監控工具和切片技術，以優化晶體生長和切片工藝的性能和產量。此外,該工具還可提供最大吞吐量、最低能耗和最高生產率。