二手 NTC / KOMATSU PV500FD #9316437 待售
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NTC/KOMATSU PV500FD是為各類晶體的高效生長、加工和分析而開發的晶體生長、鋸切和切片系統。它是專門為矽單晶等薄和塊狀晶體的生長及相關加工而設計的。NTC PV500FD由一個NTC晶體生長單元（CGU）和幾個切削工具組成。CGU是一個專門的熱室，配有一個特殊的高壓高溫敏感器，在其中心產生Czochralski（CZ）或浮動區（Floating Zone，FZ）生長的晶體。熱場的剪裁可以提供一個非常快速和高度均勻的溫度分布在整個腔室。這顯著降低了晶體生長的不均勻性。鋸是布置在CGU中心的全自動金剛石線鋸。它能夠將塊狀晶體切成薄且均勻的薄片，最小切片間距為5微米，切割速度為30至300毫米/秒。采用步進電動機精確控制，具有粗糙的可編程切割功能。切片和研磨設備由線性驅動皮帶切片/拋光機和精密平行切片鋸組成。根據晶體材料的不同,每一種都提供30至50毫米/秒的切片速度,以及可重復的表面光潔度和用於控制和調整切削軸的系統。它們還允許在材料損失最小的情況下對接近網狀的晶圓盤進行精確切片。晶體表面分析由KOMATSU先進的鏡面表面檢測器提供動力，可用於準確監控和控制整體表面狀況。這允許測量表面光潔度、原點方向的差異和表面微觀結構。總之,KOMATSU PV500FD是一種先進的晶體生長、鋸切系統.它提供了各種晶體類型和尺寸的快速而精確且均勻的生長、切割和切片,並且晶體表面分析確保了成品的最高質量。
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