二手 PHOTOMEC CZ / PTM #293645791 待售
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單擊可縮放
ID: 293645791
晶圓大小: 8"
優質的: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2016 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTM晶體生長、鋸切、切片設備是晶體生長、切片、鋸切先進解決方案的最先進生產線。這個系統允許不同半導體和電介質的高品質晶體的生長，包括矽和砷化氙。這使得晶體尺寸和尺寸能夠滿足下一代電子元件和設備不斷變化的需求。CZ/PTM設置包括兩個單獨的模塊。晶體生長模塊支持垂直和水平運輸屏蔽Czochralski （TSCz）多種子和高分辨率Bridgeman爐，以及用於晶體生長的梯度爐。它還包括旋轉密封件、石英和crucible lifters、樣品架和晶體處理工具等各種輔助設備，為快速、可靠、經濟高效的晶體生長提供了最好的條件。晶體切片和鋸切模塊是一個最先進的單元，用於生產不同厚度和大小的晶片。它包括一個高級的化學機械拋光（CMP）單元，一個頂端的線單面皮帶鋸，和額外的工具。帶鋸產生平行、表面均勻、缺陷最小的晶片。CMP單元可確保每個晶片的平坦度和圓度非常精確,並減少平行誤差。PHOTOMEC CZ/PTM機的兩個模組被整合成一個單一的框架，允許晶體從生長室無縫轉移到切片和鋸切站。此外，該工具能夠產生大量高度一致的晶體和晶圓。資產還包括由光學計量軟件、粒子分析和3D測量組成的一整套質量控制模塊，保證所有結果在整個過程中保持一致。最後，也值得註意的是，CZ/PTM機型高度可定制，可以適應客戶的具體需求。它還配備了一套預防性維護工具和傳感器，使設備能夠不間斷運行，降低維護成本。
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