二手 PHOTOMEC CZ / PTM #293645801 待售
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ID: 293645801
晶圓大小: 8"
優質的: 2017
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2017 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTM是為精密晶體生長、鋸切作業而設計的3軸設備。該系統有一個專用的晶體生長室,大氣溫度和濕度受控,使大型晶體能夠在空間站的零重力環境中生長。該單元還具有先進的鋸切能力,允許晶體被切割和加工到所需的精確形狀和尺寸。晶體生長室難以進入,因為該室被屏蔽的墻壁和雙氣鎖門所包圍。它包含一個精心設計的支架,以保持晶體的正確幾何形狀,並使用均勻的熱輪廓。該室的大氣和溫度精確控制,以確保大型、均勻和無缺陷晶體的生長。混合窗口使摻雜氣體與氮氣、氧氣和氦氣大氣的精確混合成為可能。增加熱導率和降低溫度波動速率的鉬敏感器被放置在腔內。磁感器與精確的熱控制器耦合,將腔內的溫度調節到對均勻晶體成核和生長的精確要求。鋸切和切片通過精確的X、Y和Z軸運動完成。手臂附有一個旋轉的金剛石鋸片,以及一個強大的聚焦透鏡和可調節的鏡子來塑造光束。此外還增加了一個精細的螺距鉛螺釘,可實現精確的微米水平的鋸切。鋸還配備了激光光束導引機、4顎卡盤支架和真空工具,用於捕獲並包含切片過程中發出的所有粒子。資產的精確度使大型晶體和鋸切/切片的生長具有傳統技術無法比擬的精確度、作物產量和速度。它是一種耐用可靠的模型,旨在為任何應用提供高質量和均勻的晶體。CZ/PTM是在低重力應用中大、均勻、無缺陷晶體切割、鋸切和切片的首選工具。
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