二手 STC L155 #9131582 待售

製造商
STC
模型
L155
ID: 9131582
晶圓大小: 22"
Saw, 22" Power supply: 235 / 208 V, 20 A, Single Phase 440 V, 3-Phase.
STC L155是一種革命性的晶體生長、鋸切和切片設備,它結合了清晰光度級晶體生長的力量和鋸切和切片技術的精確度和多功能性,為光學活性材料的加工提供了完整的解決方案。該系統基於L155系列的兩軸設計,采用兩種激光器,一種用於切片和切割的CO2激光器,另一種用於晶體生長的​​氙激光器。該單元設有三個中央加工室:一個生長室、一個金剛石絲鋸切單元和一個晶體切割單元。生長室設計用於控制和優化一系列材料的光學級晶體生長,如砷化氙(GaAs)、矽(Si)、磷化銨(InP)等。該腔室配有實時生長速率調節雙側加熱機、晶體質量監測傳感器,可進一步連接工藝控制計算機,對生長狀況進行最佳控制。金剛石鋼絲鋸切裝置是為金剛石鋼絲在生長的晶體上快速、精確地劃線而制作的。激光劃線工具通過高精度電微米驅動器驅動,精確到0.05 µm。該單元還包括一個金剛石線型張緊器和減速器單元,用於精確控制線型張力和精確運動控制。晶體切割單元是為晶體的精確切片和切割而設計的。它配備了一個自動激光引導和控制資產以及一個計算機控制的機械臂,用於精確操縱晶片。該模型可用於切片、切割、研磨和拋光操作。此外,設備還配備了兩個較小的工藝室。其中一座裝有一套高溫爐,用於生長後退火和晶體子結構調諧。第二室為低溫化學蝕刻室,可用於晶體平面化。總體而言,STC L155晶體生長、鋸切和切片系統是光學活性材料加工的一個通用、精確的單元。憑借其雙軸設計、先進的工藝室以及集成的計算機控制系統,該機是生產光學活性晶片的理想解決方案。
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