二手 ASM AD 830 #9392446 待售
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ASM AD 830是一款設計用於半導體行業的高性能模具附件。它用於將粘結模具連接到基板上,可用於晶片上晶片(CoW)和玻璃上晶片(CoG)的應用。ASM AD830具有先進的三軸運動控制設備,可確保粘合模具與基板的精確放置和粘合。該機每小時可處理多達1,440個粘結模具,總吞吐量為每秒17.28個粘結模具。AD 830具有無門真空系統,該系統具有可精確放置模具的力共享功能,並具有主動泄漏檢測功能。單獨的氣動真空和合力系統最大限度地降低了功率要求,並最大限度地提高了模具的放置精度。該機使用三軸編程單元繪制放置模式,並使用激光測量機減少俯仰誤差。AD830配有先進的模貼工作站,可確保均勻的模貼覆蓋範圍和可調節的力設置。在應用過程中,粘貼擠壓機和擴壓機單元可用於將模具粘貼應用於基板的任何特征。此外,ASM AD 830可用於在模具放置之前施加模具粘合劑,從而保證模具粘附,防止不需要的晶片加熱。ASM AD830配備了90KW的5微米脈沖電源,可確保快速、精確的脈沖-模鍵合形成。該機還具有專用的6軸機器人工具,可用於裝卸粘結模具。它還與外部遠景資產兼容,以提供額外的檢查能力。AD 830設計用於晶片(CoW)和基於玻璃芯片(CoG)的應用,可處理高達12.7mm x 12.7mm的模具尺寸。它專為高吞吐量工藝而設計,設計緊湊,易於集成到生產線中。AD830還具有直觀的觸摸屏界面,可輕松訪問機器設置和參數。
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