二手 ASIA NEO TECH NCO+IR-0870C #293643808 待售

ASIA NEO TECH NCO+IR-0870C是專門為原子層加工而設計的高規格擴散爐及配件。它能夠在高達1000 °C的溫度下進行廣泛的退火、氧化和抗氧化處理。它包括一個NCO-IR（帶紅外加熱器的近接觸式氧化爐，Near Contact-type Oxidation Furnace with Infrared Heater），允許在受控氮氣的大氣中快速加熱和冷卻，以便在原子層水平上進行氧化，而樣品之間由於大氣幹擾變化不大。不銹鋼室還配備了可打開的頂蓋，允許快速進行樣品變更和測量。此外，NCO+IR-0870C采用了特殊的雙室設計，內室內部為擴散過程專用控制。腔室還配有石英腔蓋，不僅提供絕緣效果，還保護樣品免受大氣和熱輻射的電阻加熱。加熱元件本身可以在交流和直流電流操作之間切換。腔室本身還配備了幾個安全特性和過溫防護。NCO+IR-0870C擴散爐及附件也是為了與自動晶圓傳輸系統兼容而設計的。加熱的石英室和裝載臂，以及樣品室被設計成易於與自動晶圓傳輸和裝載系統集成，從而在加工過程中實現精確的重復性。擴散爐的精度和可重復性取決於對室內大氣和溫度的仔細控制。NCO+IR-0870C利用堅固的控制組件,允許在設定溫度的3°C範圍內對大氣進行精確和可重復的加熱,並在從室溫到1000°C的各種設置範圍內進行溫度穩定和調節。NCO+IR-0870C設計用於可靠、精確的原子層加工，是研究和生產復雜、精確材料組合的理想選擇。精確和可重復加熱的結合，加上出色的氧氣控制，使其成為無與倫比的精確度制造材料不可或缺的工具。