二手 ASM 250 #9237803 待售

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製造商
ASM
模型
250
ID: 9237803
晶圓大小: 4"-8"
Horizontal furnace, 4"-8" (4) Tubes EG Process: (3) Tubes up to 800°C Annealing: Tube up to 1-100°C.
ASM 250是一種先進的擴散爐及相關配件.它能夠為太陽能電池、電池和超導體等應用高效、安全地擴散材料。它能夠處理尺寸不超過2英寸的基板,並控制21°C至1050°C的氣體擴散溫度。是適用於工業、學術、研究中心應用的強大設備。250由兩個組件組成:一個控制單元和一個電源驅動單元。控制單元負責控制擴散溫度、氣體流速、供應線壓力等工藝設置。它還具有用戶友好的LCD界面,方便控制可編程氣體混合流、溫度控制和其他重要參數。動力驅動單元提供在擴散爐內部創造所需環境所需的加熱和冷卻動力。它有兩種版本:高溫額定系統和低溫額定單元。高溫額定機能夠提供高達1,550 °C的最大供電電流為150 VDC,而低溫額定器可提供高達850 °C的最大供電電流為100 VDC。ASM 250還包括幾個可選配件,如用於樣品快速冷卻的淬火資產、用於增加安全性的阻燃劑模型,以及用於在擴散過程中保持樣品周圍氣體的基板支架。此外,一個多通道氣體混合模塊、外部氣體采樣端口和基於盒式磁帶的樣品引進系統也可用於250。最後,ASM 250還提供了廣泛的附加服務,如售後支持、培訓和軟件工具。這有助於用戶優化其操作並維護其設備以實現長期可靠的操作。
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