二手 ASM A 400-C #9356784 待售
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ID: 9356784
晶圓大小: 8"
LPCVD System, 8"
(1) Сhamber
Nitride
Reactor
(30) Lot Carousels
(125) Cassettes
Temp controlled flanges
Water cooled particle trap
Wafer counter mounted on wafer handling robot
Chemical filters for WIP and WHR section
Low stress nitride tool
Boat rotation
Gases: SiH2Cl2, NF3, NH3.
ASM A 400-C是一種先進的擴散爐和輔助設備,旨在提供高效可靠的熱處理。該系統能夠快速準確地加熱金屬、合金和其他材料,溫度可高達2000 °C。爐子配有電子反饋回路,有助於控制和維持整個熱循環的最佳工藝條件。400-C還具有用戶友好、易於使用的界面,允許簡單地導航其所有特性和功能。ASM A 400-C的設計目的是提供廣泛的溫度範圍,以適應各種材料。其溫度範圍在100至2000°C之間可調,工作體積在155至1760立方厘米之間,允許更大的工件和改進的溫度控制。一個400-C還設有一個電風扇,用於在整個爐子內均勻分配熱量.此設計有助於避免任何局部熱梯度,從而產生更一致和穩定的熱過程。此外,其強制空氣冷卻模式有助於最大程度地減少超調,確保準確高效地完成所需的熱循環。該裝置還具有一個高精度的數字恒溫器,可以為精確和可重復的熱循環編程。這樣既可以方便地監測和控制溫度,又可以長期重復熱循環。該爐還配備了溫度報警器和排氣扇機,有助於確保安全、人性化的操作體驗。為了確保準確的工作材料和延長生命周期,ASM A 400-C設計具有專門的安全特性。例如,其上部加熱元件和陶瓷加熱元件由溫度控制器以及二次超溫檢測模塊保護。此外,它的氣隙通風工具有助於防止熱積聚,使清潔和維護更加容易。400-C擴散資產還包括各種安裝和操作配件,使操作和維護成為一種微風。例如,它配備了一整套陶瓷、真空和燃料裝載配件,確保熱過程可靠和安全地運行。其綜合安全模式還包括應急鎖、自動關閉、過溫控制系統、安全指標等。總體而言,ASM A 400-C是一種先進、可靠的擴散爐及輔助設備,提供高效、一致的熱處理。該系統具有高精度的數字恒溫器、寬廣的溫度範圍、多種安全操作特點,非常適合方便、準確地處理各種材料。
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