二手 ASM A 400 #9015529 待售

ASM A 400是ASM International生產的擴散爐及相關配件。該爐的設計目的是在熱過程中提供高度的溫度控制，並在過程應用方面提供最大的靈活性。適用於廣泛的應用，包括熱輔助和氫助助化學氣相沈積（HACVD）、熱氧化、低壓化學氣相沈積（LPCVD）、高溫環形快門退火（HTASA）、半導體。ASM A400由主外殼、多功能電源模塊和垂直腔室組件組成。腔室組件包含原子力顯微鏡（AFM）和石英晶體測量（QCM）的八列。主單元是垂直固定的絕緣單件模塊,單個可移動頂部。它包括一個單側數字控制器和兩個易於調節的氣體控制和冷卻開關環路。電源模塊有數字電流-電壓-時間控制器和兩個冷卻系統，強制空氣設備和水冷系統。垂直腔室包括可選的RF （RF）匹配網絡和加熱電纜或膜鎖存器。A-400還具有一系列安全機制，如在爐內保持安全壓力水平的減壓機，以及在超出高限設置情況下預防災難的關閉和緊急關閉系統。爐子配有兩步冷卻工具，通過柱子循環空氣，周期性倒流，防止形成熱點。這樣可以確保整個爐子的溫度分布均勻。ASM A-400還具有各種可用於流程或用戶自定義的附件。這些配件包括環形快門控制器，用於控制光圈大小、快門速度、溫度和HTASA的點火控制；加熱元件熱電偶和爐膛熱電偶，用於監測溫度；和真空進給通路，用於真空控制。總之，A400是一種功能強大、用途廣泛、可靠的擴散爐及相關配件。它能夠提供精確穩定的性能，適用於半導體行業的各種應用。它配備了一系列安全機制，以最大限度地提高用戶的安全性，並易於定制與可用的配件。