二手 ASM A 412 Doped Poly #9359390 待售

ASM A 412 Doped Poly是一種擴散爐及附件，設計用於在半導體器件的制造中提供預摻雜外延。它裝有兩個6英寸的石英管烤箱，溫度可在200至1500 °C之間調節。該爐還設有獨立的溫度控制、單級溫度坡道、可調反應壓力、摻硼多晶矽加熱器、機械和電子快門組件以及供電設備。A 412在技術特性上特別通用，專為快速給藥揮發性摻雜劑如GFSI、BPSG、砷、磷、硼、磷、她的應用而設計；至氣源冷卻,以獲得更快的熱響應；以單向CVD和氮化物薄膜沈積。摻硼多晶矽加熱器保證最大效率，傳熱均勻，熱循環快速。通過使用單級溫度斜坡系統，可以調節反應壓力以增強或限制汽化，從而限制揮發性摻雜物的逸出量。其機械和電子快門組件允許完全關閉後壓，防止任何異物進入上遊反應室。此外,A 412的電源單元提供的功率範圍從0-100%不等,其中0%被考慮關閉,100%被認為是「高功率」。通過這種設計,您可以輕松地將功率調整為通用常數,使其成為那些需要高溫和特定功率輸出的應用程序的理想選擇。簡而言之，A 412摻雜聚合物是一種外延擴散爐，具有豐富的特性，旨在促進揮發性摻雜劑的快速摻雜。其可調溫度範圍、單級溫度坡道、可調反應壓力、摻硼多晶矽加熱器、電源機以及機電快門組件，使其成為半導體器件制造中預摻雜的完美解決方案。