二手 ASM A 412 #293652798 待售

ASM A 412是一種堅固可靠的擴散爐和配件，設計滿足各種生產需要。這種擴散爐非常適合單層或多層的應用，最多三個器件和晶片，以及提供斜坡上升和均質化的能力，以最佳的均勻性和工藝性能。設備配備了最多四個獨立的供熱區和強大的對流風扇控制，以保證快速的溫度斜坡上升時間。它還配備了一個集成氣體分配系統，設計用於輸送精確的氣流，以精確控制和均勻地擴散過程。該擴散爐采用過溫保護和刀刃加熱空氣裝置等綜合安全特性，提供先進的擴散沈積工藝，沈積速率變化最小，基板變形最小，工藝均勻性優化。該機還包括熱電偶控制和包括壓力、真空、熱循環和基於時間的參數在內的一系列工藝參數，從而實現了高度的工藝重復性和控制性。該工具還提供了一個用戶友好的高級流程控制器,具有簡單的圖形用戶界面和易於編程的命令,從而最大程度地簡化操作。利用這些特性,ASM A412是塗層膜和層從氧化物到銅的高質量擴散工藝以及各種其他精密塗層應用的理想選擇。