二手 ASM A 412 #9076841 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9076841
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Nitride/Ar poly LPCVD dual thermal vertical furnace, 12" (2) Load ports Side 1: Configured for pCVD TiN deposition Side 2: Configured for As doped Poly HiK Mainframe: MSC3 maintenance screen Genmark GB4S back end robot 28 FOUP carousel capacity Does not include: Pumps or abatement Process chemical cabinet Quartz/tubes 2007 vintage.
ASM A 412是一種擴散爐及附件套件,設計用於制造高級半導體材料。擴散爐由一個可被加熱到1300度的大氣控制烤箱室組成。該設備包括一個高度精確的氣體控制器,能夠向爐子提供一致的惰性氣體流動,以盡量減少氧氣和水分水平。擴散爐還包括一個氣密真空系統,旨在減少空氣暴露,並為所需材料的應用創造一個高純度的氣氛。擴散爐還具有固態加熱元件,旨在最大限度地減少能耗,保護設備不受幹燥影響。加熱元件可通過控制面板輕松調節和監控。該面板還具有溫度控制設置,以實現材料的一致、準確擴散。除爐子外,ASM A412套件還包括一系列附件,以確保最佳性能。包括一個等離子體蝕刻器,以清潔和準備所需的應用的腔室,而層壓機確保均勻的擴散速率和高產率。真空泵還包括用於脫氣操作的真空泵,而升降鎖門機構則在維護過程中固定腔室。412的高級控制面板允許自動操作,並且可以編程為所需的應用程序提供最佳溫度、時間和間距。此外,控制面板還設有過熱、低氣壓等問題的報警功能,確保安全,減少潛在停機時間。該機的高性能濾波器還確保了最佳氣體擴散和調低比。A412擴散爐及附件套件是制造符合嚴格工業和安全標準的高質量、高級半導體材料的理想選擇。憑借其內置的功能和精確的控制工具,資產將提供可靠的性能和一致的結果。
還沒有評論