二手 ASM A 412 #9097361 待售

ASM A 412是由多個部件組成的擴散爐及附件設備。設計用於摻雜劑擴散、晶圓氧化、熱加工快速等半導體制造應用。擴散爐是一個大的圓柱形真空室。腔室具有可變寬度,可容納600毫米以下的晶圓尺寸。該系統利用專有的橫向加熱和均勻性技術，在晶圓表面形成均勻的溫度剖面。該爐還包括一個真空測量單元，以及用於設定工藝參數和監測工藝數據的控制。ASM A412機還包括許多附件。腔室中的轉盤便於一次裝載和卸載最多四個晶片的晶片載體。機器人手臂支持將晶片引入和移出腔室。機器人臂使用專有設計的光學跟蹤工具，以確保晶片的精確定位進行處理。412資產具有多種功能和選項,可確保可靠和安全的性能。集成的安全互鎖模型允許在處理過程中檢測到錯誤或不規則性時關閉設備。裝有水冷水槽，以便從室內抽取熱量，並確保溫度保持在允許的範圍內。該系統還包括一個自動氣體流速和定序單元，這保證了氙氣和其他氣體以正確的速率輸送給應用。PROCEASE Fusion 2軟件包隨附A412臺機器,提供了一個用戶友好、直觀的圖形界面,用於設置流程參數和監控刀具性能。集成軟件控制模塊提供遠程訪問,允許從任何位置進行資產控制。軟件還包括高級選項,例如自動化模型,可用於自定義特定流程的配方。ASM A 412擴散爐及附件設備設計方便,性能優化.該系統具有較高的可靠性，與同類的其他擴散爐相比具有較高的可重復性。該擴散爐具有綜合的控制功能、改進的熱均勻性和方便的軟件包，是許多半導體應用的理想之選。