二手 ASM A 412 #9117000 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9117000
晶圓大小: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnaces, 12".
ASM A 412是專門為滿足客戶需求而設計的擴散爐及配件。本產品構造穩健,廣泛應用於多種應用,如半導體制造、研發、產品設計等。它具有先進的熱擴散機理,結合了電阻加熱技術和石英絕緣,提供優異的熱效率和均勻的溫度。爐室采用石英管雙線,允許溫度均勻,熱效率更高。它還包括溫度精度和精度的熱電偶。ASM A412的自動化運行非常適合大批量生產運行。由於該產品配備了分布式PID溫度控制系統,可在整個操作範圍內提供一致的加熱,因此可實現精確的過程控制。它還配備了壓力控制系統,可以穩定大氣產生。此外,該產品還具有石英出口,用於釋放揮發性材料。A 412的尺寸為1020 x 1420 x 890 mm,允許集成工作區優化。該產品還設有用於排出反應氣體的排氣口,以及用於收集沈積物的水冷鋼墨盒過濾器。此外,A412與廣泛的附件兼容,包括真空泵、導管、控制器和氣體管理系統。為確保操作方便安全,ASM A 412擴散爐具有易於使用的鍵盤控制器,具有直觀的界面和數字顯示屏,允許用戶監控和調整溫度、真空和溫度斜坡速率等基本參數。這款產品也是為安全而設計的,具有過溫防護、保護操作員免受熱輻射的鋼制烤架以及手動關閉設置。ASM A412具有多種容量,是一種可靠、高效的擴散爐,專為滿足客戶需求而設計。
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