二手 ASM A 412 #9117001 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9117001
晶圓大小: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnace, 12".
ASM A 412是為擴散粘結工藝設計的先進爐具及附件.該單元非常適合在高溫下將組件粘合在一起,而不會氧化或降解擴散過程中所涉及的材料。利用先進的技術,ASM A412利用進料機構和各種加熱元件來確保粘結過程的溫度保持一致。由於擴散過程,A 412非常適合與半導體、MEMS、集成電路等高精度材料配合使用。A412具有兩個基本組件,ASM A 412機器和PC5控制單元。ASM A412包括一個帶石英窗的熱區室、一個陶瓷纖維加熱元件、氮氣控制和一個用於清洗的氣箱。PC5控制單元包括一個觸摸屏顯示屏和一個用戶友好界面,用於管理設備的操作和編程。通過這種設置,用戶可以訪問和編輯報告,設置逐步操作參數(包括溫度、加熱速率、冷卻速率和大氣控制),並監控和控制整個擴散結合過程。412能夠在200至1,200˚C(392至2,192˚F)的溫度下工作,但擴散過程的最佳工作溫度為700˚C(1,292˚F)。更重要的是,A412的特點是頂部載荷滑石塗層石英敏感器,保持整個熱區均勻的熱輪廓。這使用戶能夠實現零件的均勻擴散鍵合,而不會過度移位或降解,這對錫鉛合金尤為重要。此外,設備的自動傾斜調整允許用戶調整腔室的角度,以最佳地放置和移動要融合在一起的元件。最後,ASM A 412具有先進的氣流管理系統,可確保在整個粘結過程中保持適當的壓力和溫度水平。這降低了氧化的風險,有助於確保即使腔室的一側比另一側更熱的均勻溫度,並有助於保護被粘合的組件免受溫度沖擊。ASM A412是一種用途廣泛、功能強大的擴散結合系統.其精密的控制單元和可調節的溫度和氣流設置使其成為處理需要均勻擴散過程的敏感材料的理想工具。
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