二手 ASM A 412 #9205124 待售
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ID: 9205124
晶圓大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412是一種擴散爐及附件，常用於半導體工業生產半導體晶圓。該爐由一個高功率、氣密、溫度控制的腔室組成，該腔室與多種氣源相連，包括氮氣、氧氣和氫氣。腔室還裝有石墨襯裏和加熱元件，其溫度範圍很廣，由腔內溫度控制器控制。該室還具有多種安全特性，如壓力釋放閥和報警器。氣源隨後通過電磁體氣體歧管與爐子相連，該歧管調節和控制氣體的流動，使它們能夠根據需要精確地進入爐子。氣體然後經過多個加熱元件，在那裏加熱，然後進入主爐房。在腔內時，氣體被加熱到特定溫度，這取決於加工的工序類型和正在加工的晶圓。加熱的氣體隨後通過石墨襯裏擴散到晶片上，根據需要沈積薄膜塗層或其他層。許多附件也可用於ASM A412,包括負載鎖、溫度控制器和其他各種類型的附件。載荷鎖有助於在裝卸過程中將晶片保持在嚴密控制的環境中，而溫度控制器則允許精確控制氣體溫度，確保更好的效果。還有多種其他配件可用，包括石英加熱器、計算機控制系統、晶圓處理設備。總體而言，A 412是一種先進的擴散爐及配件，廣泛應用於半導體工業，以創造各種工藝和產品。該爐配備了多種安全和控制特性，以及用於精確控制工藝的多種配件，能夠產生高度可靠的結果。
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