二手 ASM A 412 #9211212 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9211212
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Dual ATM oxide, 12" 2007 vintage.
ASM A 412是一種最先進的擴散爐及配件,旨在滿足各種材料退火和擴散的最高行業標準。這臺多功能機器能夠在600°C至1200°C之間運行,即使是要求最苛刻的應用程序也能提供出色的溫度均勻性和可重復性。超大的腔室使其成為處理大型基板的理想之選,先進的自動化實現了快速的溫度循環和精確的控制。堅固的設計包括耐用的不銹鋼腔室、絕緣陶瓷和計算機控制的泵送,以確保清潔安全的環境。對於退火,ASM A412包括可調節的加熱功率輸出,可達到1200 °C的最高溫度。先進的J型熱電偶可確保精確的溫度讀數,而大型風扇冷卻加熱器可在長退火周期內實現更快的溫度均勻性和穩定性。此外,不銹鋼室和獨特的電爐設計,允許精確控制大氣在很大範圍的壓力和成分。這使得退火過程具有很大的靈活性和均勻性。對於擴散,A 412包括載氣和反應性化學物質的可調混合物,允許精確摻雜或完美表面鈍化。通過優化氣流、壓力和溫度參數,可以定制流程以滿足任何客戶的要求。此外,該機還包括一個高溫計和先進的雙PID自動調諧控制器,以提高精度來測量和完善擴散過程。由於A412是為晶片級加工而設計的,它的組件允許仔細處理細膩的基板。前門開到180o,使得晶片能夠從安全的姿態裝卸。此外,機器通過定期自動排入大氣層來保持清潔,手動紋理化確保表面清潔和一塵不染。總體而言,ASM A 412的性能和特性使其成為業界領先的高端退火和擴散應用程序工具。其超大的腔室、可調節的加熱能力、先進的自動化和精確的大氣控制,即使是最苛刻的應用也能實現前所未有的精度和可重復性。
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