二手 ASM A 412 #9281043 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9281043
晶圓大小: 12"
Vertical furnaces, 12" Oxide process.
ASM A 412是一種擴散爐,廣泛應用於矽片等優質半導體材料的生產。這種爐是專門為執行稱為外延的氣流擴散過程而設計的,常用於半導體制造和研究設施。ASM A412由幾個組件組成,包括烤箱室、加熱元件、氮調節器和壓力控制設備。烤箱室由硼矽酸鹽玻璃制成,可承受高達1100 °C的溫度。加熱元件由鉬和鎢構成,在300至700°C的溫度下操作。氮氣調節器用於控制烤箱中的壓力水平,確保溫度在整個擴散過程中保持一致。壓力控制系統可確保壓力水平保持在特定範圍內,從而允許精確控制環境。412還具有先進的控制單元,包括精確的測量、泵機和一組計算機控制的傳感器。傳感器提供的測量使用戶能夠準確控制氮氣水平、加熱時間和其他擴散參數。計算機控制的泵還用於調節擴散過程中使用的氣體水平,如一氧化二氮、水蒸氣和氨。除烤箱外,A412還包括若幹必要的附件,如氣體混合工具、排氣資產和溫度傳感器。氣體混合模型用於混合擴散過程所需的化學物質,排氣設備用於排出作為該過程副產品釋放的任何氣體。溫度傳感器用於檢測室溫的任何變化,確保腔室始終保持在安全範圍內。ASM A 412是一種先進的、高度精確的擴散爐,為用戶的材料提供可靠高效的生產環境。利用這種擴散爐,可以快速、準確地生產出高質量的半導體材料。
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