二手 ASM A 412 #9354370 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9354370
晶圓大小: 12"
Furnace, 12" Type: G-OX and poly Bottom reactor Top WIP Bottom WIP Top reactor WIP Spindle Panel cover Power box Heating element R1 Heating element R2 Blower R1 Blower R2 PP Box Door plate Top carousel Bottom carousel UPS.
ASM A 412是一種主要用於金屬塗層、半導體和其他相關工藝的擴散爐。ASM A412通常設計為在1050°C至1250°C的範圍內運行,並且能夠在± 3°C的範圍內實現非凡的均勻性。該設備還具有溫度上升和下降以及預熱功能,有助於確保無間隙和無間隙界面層的穩定、均勻和可靠的增長。412配備了一個八端口擴散室,具有多達五個獨立控制的端口。這使傳感器和其他支持儀器能夠完全進入、測量溫度並為增長創造最佳條件。電源可高達40 KW,以便在短時間內達到最高溫度。A412還有一個多區域補償系統,能夠通過控制各種組件來穩定整個過程中的溫度。ASM A 412還具有集成冷卻裝置,以確保爐子的壽命和耐用性。這種冷卻機有助於降低溫降,保護內部部件,從而延長爐的使用壽命。其他功能包括卓越的溫度保護工具,它允許在過程中對可能過熱的組件進行熱保護。ASM A412還提供了廣泛的附件和功能,旨在優化擴散過程。這包括一個自動調諧輻射籠,先進的運動模塊,氣體歧管系統,以及一個單一觸摸屏界面的控制板。為了安全起見,A 412還配備了用於檢測過熱部件的熱電偶,以及用於冷卻擴散室的高壓鼓風機。總體而言,A412是一個可靠而堅固的擴散爐,能夠達到均勻的基板溫度。它是塗覆金屬、半導體加工等相關任務的理想選擇。該爐具有先進的特點、擴展的溫度保護和安全選擇,是各種應用的絕佳選擇。
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