二手 ASM A 600 UHV #9232052 待售
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ID: 9232052
晶圓大小: 8"
Vertical furnaces, 8"
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Operating system: Windows NT
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Ø 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length: 300 mm
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling, 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size: Ø 200 mm
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz.
ASM A 600特高壓是一種用於制備超高真空（UHV）樣品的擴散爐。該設備由真空室、真空泵系統、爐室、可調節高度的加熱器以及所有必要的控制、電源和附件組成。真空室設計為提供5x10-6 Torr的底壓，從室外烘烤可達到較低的底壓。腔室呈圓柱形，有兩個縫隙進入加熱器和樣品。內部兩級容納抽水階段，外部兩級分別是加熱器和樣品。內部各級由一個旋轉的通風閥旋轉，方便進入樣品。閥門打開並關閉,手動拉桿安裝在腔室上,可向任一方向旋轉90度。采用高真空針閥進行精細的閥門控制和精確度.真空泵機包括冷陷阱、旋轉泵、擴散泵和機械、油、低溫和渦輪分子泵的組合。冷捕裝置用於降低疏散過程氣體的分壓，由位於內室的旋轉和擴散泵進一步降低。機械泵提供了較高的泵送速度和油泵，對於給定的氣體體積排量比例來說是一種較高的極限壓力。低溫和渦輪泵連接到腔室，形成一個較深的ultahigh真空。爐膛進一步裝有可調節高度的加熱器，用來加熱樣品高達1000 C的擴散過程，以及原位測量。可調高度加熱器通過可編程控制器設置和控制，該控制器還控制外部連接和傳感器。控制器包括內部多路復用器,可同時處理多個電氣設備。加熱機堅固高效，以可伸縮的方式提供高低溫範圍。整個工具由不銹鋼構成，主腔室內徑600毫米，高1500毫米。腔室包括一個觀察窗口和一個真空通風口的樣品。整個資產都配有底座和夾具，可以安全和方便地處理爐子。600特高壓擴散爐是制備高真空樣品和進行一系列擴散過程的通用解決方案。它的可調高度加熱器允許對樣品加熱進行精確控制，讓實驗者達到理想的效果，而其高質量的構造和穩健的設計確保了長期的可靠性。
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