二手 ASM A 600 #112365 待售
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單擊可縮放
ID: 112365
晶圓大小: 8 "
LPCVD Furnaces
UHV Vertical furnaces
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Φ 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length, 12"
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size, Φ 8"
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz
Operating system: Windows NT.
ASM A 600是專門為薄膜沈積在基板上而設計的擴散爐及配件。它是一種高溫爐，能夠沈積不同厚度和形狀的薄膜。該爐容量為600千瓦，最高運行溫度為1,500 °C。它對熱沖擊和高溫環境具有極好的抗性。溫度可以在0-1,500 °C的範圍內調節。600采用堅固耐用的隔熱鋼底座，頂置和雙壁室結構的組合，節能傳熱系統，以及強大的固態電子控制器。集成控制系統提供了用戶友好的功能,如簡單的兩鍵啟動/停止鍵盤、用於無縫輕松操作的預編程參數、過溫安全限制以及溫度斜坡/浸泡功能。ASM A 600還提供多種配件，如多基板支架、單/多基板驅動器、自動進紙器和冷卻技術。廣泛的基板持有者和基板允許在不同的溫度設置下加工各種基板。此外，集成的自動進紙器可以安全高效地裝載和卸載基板。該爐還配備了冷卻技術，如氣體和液體冷卻，以提供從高加工溫度到有利於處理基板的低溫的快速過渡。一個600擴散爐還包括專門的快速關閉系統，在任何緊急情況下立即停止所有操作並使爐達到安全溫度。該爐還提供方便的維護和維修,內置一套功能,旨在確保一致薄膜沈積的最高精度、穩定性和可靠性。總體而言，ASM A 600是一種功能強大、可靠的擴散爐，配有多種配件，可實現高效、精確的薄膜沈積。它是需要可重復、高質量薄膜的應用的完美解決方案。
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