二手 ASM A 600 #293595388 待售

製造商
ASM
模型
A 600
ID: 293595388
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
LPCVD Furnace, 8" Oxide 1995 vintage.
ASM A 600是一個擴散爐和配件設計,以實現卓越的性能在各種應用。該爐的工作範圍為600攝氏度,配有石墨構成的擴散管、排氣管和SS 316L不銹鋼線圈。冷卻器為反應室和工藝管提供可靠的冷卻源,使該工藝能夠完全控制溫度。該爐配有定制控制器,能夠為加熱過程提供準確的參數。此外,它還有一個安全互鎖設備,帶有多個傳感器,以及一個真空密封隔離室,用於在反應室中均勻加熱。擴散爐還包括一個利用EDX系統的旋轉加熱單元,以確保工藝管的均勻冷卻。該裝置能夠在靜態和動態加熱模式下操作,以提供最大程度的控制和靈活性。它還包含一個動態清潔機制,用於清除過程中可能產生的任何飛濺或多余的材料。除了擴散爐外,還有多種配件設備。這包括氣體混合裝置、樣品儲存器、液壓動力面板、真空壓力表和操作爐子所需的其他工具。另外,該爐有一個VCR和光發射光譜儀(OES)機器,可以用來監測反應過程,以確保最高純度的最終產物。總體而言,A 600擴散爐及配件在各種應用中提供卓越的性能.它具有可靠可靠的組件,是需要可靠高效流程的用戶的理想選擇。此外,它的特點和附件為希望優化爐子性能的人們提供了一個完整的解決方案。
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