二手 ASM A400 HT #9266026 待售
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已售出
ID: 9266026
優質的: 1998
LPCVD System
Process: Oxide / Poly
Dual reactors / Dual boats
Boat rotation: Poly
(5) Temperature zones
1998 vintage.
ASM A400 HT(高溫)是一種先進的擴散爐及附件,用於制造光電、MEMS、納米技術和光伏等應用。這種類型的熔爐利用強大的石英管進行高達1300 °C的高溫加熱,設計用於所有樣品批次的最高溫度均勻性。A400 HT還具有一個有源溫度控制系統,可以進行精確和可重復的溫度規劃。其大氣控制系統包括維持高純度氣流的低排氣設計,是高溫焊接燒結或反應性大氣的最佳選擇。ASM A400 HT利用紅外高溫計進行快速可靠的溫度測量,並包括可選的完全自動化功能和定制的PC工作站。它還具有特別設計的墻面隔熱材料,降低能耗,而其清掃的非浸入式加熱元件提供高效均勻甚至加熱功率輸出。該設計還有助於減少氣流湍流對顆粒的汙染。A400 HT先進的主動溫度控制系統提供了多種功能,包括編程多達十二個段和四種不同的溫度上升方案。這樣可以對復雜的溫度剖面進行精確和可重復的溫度規劃。此外,快速釋放門鎖可在裝卸樣品時提供方便和安全。它的低氣體設計還確保了高溫下氣體的最佳流動,在各種大氣中提供了可重復和可靠的過程。ASM A400 HT非常適合依賴於高溫和均勻擴散過程的一系列研發應用,如光電子、MEMS、納米技術和光伏電池。它提供了可靠、可重復的過程,在所有樣品批次中均具有最高溫度均勻性,並具有廣泛的自動化功能,可實現精確的溫度編程和控制。
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