二手 ASM A412 Doped Poly #9244651 待售

ASM A412 Doped Poly是專門為摻雜多晶矽生產而設計的高溫擴散爐。它提供了高達1475°C的最高工藝溫度和± 3°C的高溫均勻性,確保了過程中的最佳捕獲和溫度控制。先進的PID（比例積分導數）控制技術確保了對界面溫度的準確監控。強大的熱管理保證了晶片的快速和均勻加熱，直徑達到4.5英寸，提供均勻的摻雜劑擴散和改進退火質量。準確控制整個設備中氣體流動的能力確保了氣體在腔室中的最佳分布，從而實現了安全高效的過程。A412 Doped Poly配備了一系列配件，包括水冷、同軸石英管、石英船裝載機、加工晶圓裝載機、不銹鋼退火室和氣體檢測系統。氣體檢測單元是一個綜合組件，用於監測退火室中的氣體水平，確保任何危險副產品的安全，而晶片裝載機則在不銹鋼退火室和受控環境之間安全地轉移晶片。此外，水冷石英管的設計是為了對氣體入口進行最佳的隔離和冷卻，以補償任何導熱系數，改善傳熱，從而提高整體加工時間。總之，ASM A412摻雜聚乙烯是一種先進的擴散爐，設計用於摻雜多晶矽的生產，提供高達1475°C的均勻加熱。包裝有氣體檢測機、晶片裝載機、石英船裝載機、水冷石英管等特點和配件，確保氣體的高效、正確流動，安全、均勻、快捷。使用A412 Doped Poly,用戶可以在均勻摻雜劑擴散的情況下實現高質量的退火。