二手 ASM A600 UHV-CP #9239202 待售
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ASM A600 UHV-CP是為半導體制造提供高溫退火、反應性氣體退火和高真空退火工藝的擴散爐及輔助設備。它是為包括但不限於沈積、退火、加上蝕刻和離子植入等應用而設計的。該系統由高溫擴散爐為主體，以及多區氣體輸送單元、晶片裝卸附件、真空泵、真空計、熱質譜儀組成。擴散爐由超高真空電爐加熱。該電爐具有一個均勻的溫度區，以確保整個晶片的溫度一致，在多達四個獨立的氣體區和兩個獨立的加熱區中具有可調的溫度分布。它還包含一個可編程控制器，可以存儲多達32種不同溫度和氣體流量的配方。爐子在水平帶可以達到高達1900°C的溫度。多區氣體輸送機包括氮氣、氫氣、氨氣、氙氣、載氣。氮可用於維持高無氧檢測地址，提高氧化物質量。氫和氨可用於多種標準興奮劑應用。氙是用來減少氧化物缺陷的。而載氣可用於控制反應物種的色調和速度。工具中的真空泵由帶有旋轉活塞泵和冷凍泵的真空泄漏室組成。旋轉活塞泵在短時間擴散應用中可提供高達25 mTorr的真空。冷凍泵最大容量為10-8 Torr，是反應性氣體退火工藝的理想工具。該資產還包括用於測量爐內殘留氣體的熱質譜儀。這確保了最佳設備和工藝性能所需的清潔純凈的爐子環境。最後，該模型配備了一個附件，用於晶片裝卸和晶片支架。它具有最大的可重復性,在處理過程中易於交換晶片.總之，A600 UHV-CP是為半導體制造工藝而設計的高端爐及配件設備。該系統通過對溫度和氣體流量的精確控制，能夠安全可靠地生產出優質晶片。
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