二手 ASM A600 UHV-CP #9239214 待售
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ASM A600 UHV-CP是一種先進的高真空擴散爐和附件，為在半導體基板加工方面的廣泛成就而設計。A600 UHV-CP采用單區冷壁加熱渦輪泵、電導加熱熱壁渦輪泵和專利雙區滅火室，為高真空擴散提供卓越性能。冷壁渦輪泵將分批腔內的真空壓力降低到小於0.001 Torr，流量高達20升/分鐘。熱壁渦輪泵以集成的感應加熱元件，在低壓下有效地掃過顆粒和摻雜劑的批室。利用雙區滅火室，可以在擴散過程中快速滅火樣品。ASM A600 UHV-CP提供了廣泛的過程控制參數,可以根據客戶對溫度升高、樣品冷卻和控制擴散氣氛的需求進行調整。該系統還包括一個遠程機器接口，用於通過本地網絡監控和控制擴散過程，以及一個收集和顯示過程數據的數據采集系統。A600 UHV-CP是一種集成系統,它提供了實現卓越結果所必需的高精度、均勻性和可重復性。ASM A600 UHV-CP結合了強大的設計、先進的特性和精密的監控系統,成為用戶尋找可靠高效的高真空擴散爐及附件的理想選擇。
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