二手 ASM A600 UHV-CP #9249519 待售

ASM A600 UHV-CP是一種高質量、可靠的擴散爐設備，設計用於半導體制造的各種應用。該系統采用PECVD型工藝對晶圓和其他基材進行原位氧化和氮化。該裝置的特點是具有雙靜電多口袋積液電池、高電流等離子體源和自動化、完全可配置的過程控制硬件/軟件包的高真空處理室。該機器是專門為晶圓熱氧化和氮化過程的均勻性和可重復性而研制的。該工具能夠生產各種質量的薄膜，並且具有出色的步進覆蓋範圍，從而產生可重復、準確和受控的產品。該資產還具有高質量的加熱模型、超高真空配置的10-8Torr基礎壓力、從10E-7到10E-3Torr的廣泛過程壓力。設備質量高，可以精確控制晶圓表面溫度、濃度和穩定性、工藝時間和均勻性等晶圓氧化和氮化性能。該系統配有多口袋、雙靜電輸液電池、自動化過程控制器、溫度過程控制器、高電流等離子體源等附件，如低溫指尖、夾具和氣體面板，方便進行各種過程實驗。該裝置包括一個高速排氣風扇，用於快速疏散加工作業過程中產生的氣態和顆粒狀廢物。機器還包括一些安全功能，以確保工具在操作過程中的安全，如隔離開關（串聯開槽），以防止電壓波動。該資產還被設計為便於靈活使用，因為它可用於各種工藝需求，如熱氧化、氮化和矽化工藝。該模型可容納範圍廣泛的晶片尺寸（5-12英寸），用於矽晶片和其他基材的高效均勻熱氧化和氮化。A600 UHV-CP設備非常適合各種工藝應用，如半導體晶片氧化、氮化、矽化和其他高質量的電子和光電元件制造。這種高質量的系統，其卓越的可靠性和兼容性是一個堅定的喜愛的專業用戶。