二手 ASM A600 UHV-CP #9249525 待售

ASM A600 UHV-CP擴散爐是為高效生產大面積復合半導體材料而設計的。它設計用於安全可靠地加工直徑不超過6英寸的基板。擴散爐設有600毫米長的加工室，配有先進的壓力控制設備。腔室的超高真空（UHV）操作環境可確保清潔、低汙染水平,同時確保材料的快速硝化、擴散和摻雜編碼。動態壓力控制系統允許精確的溫度控制和快速的冷卻速度.這使得晶片基板的擴散有精確的上/下時間，在不犧牲質量的情況下減少和保持總工藝時間。該爐還包括一個能夠輸出到25kW的加熱電源，以及一個無灰的壓縮消聲器設計。燃燒單元為材料加工提供了非常清潔的環境，同時消除了煙霧和其他環境汙染物。消聲器的設計能夠快速散熱,不需要冷卻區.此外，該爐還包括一臺提供綜合過程監控和安全程序的高精度控制機器。該工具包括多種接口模式和監控控制和數據采集（SCADA）,以方便地將熔爐集成到任何現有的制造環境中。集成的安全系統為操作員提供了一套全面的安全功能，電離保護資產有助於消除過程室內發生電弧和/或火花的風險。A600 UHV-CP擴散爐通過其現代化的設計和安全特性提供了顯著的效率，可以很容易地融入到現有的生產線和工藝中。