二手 ASM A600 UHV-CVD #9239207 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9239207
優質的: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo pump and controller
BROOKS 001-7500-05 Robot
BROOKS Controller and teaching pendant
1997 vintage.
ASM A600 UHV-CVD是一種帶有附件的擴散爐，能夠生長高度均勻的材料薄膜。專門設計用於超高真空化學氣相沈積（UHV-CVD）。該腔室常用於沈積金屬、氧化物、氮化物以及其他材料組成的薄膜。A600 UHV-CVD采用全金屬法蘭設計,可在內部腔室和外部真空環境之間提供安全密封。它配有高溫加熱元件，可使物料從氣相升華和沈積。腔室包括3個加熱區，溫度可從40°C調至900 °C。此外，該室還包括一個精確的溫度控制設備以及允許進入現場監測和分析的端口。該系統提供了一個可直接觀察沈積過程的視口和一個內置冷卻裝置，以便在沈積完成後迅速冷卻腔室。還有一些安全功能,如超壓、低壓和溫度過高警報,可以設置這些功能以確保沈積過程中的最佳安全性。這臺機器的設計目的是盡量減少汙染。它具有多種確保清潔環境的功能,如氣體沖壓、靜態頂篷、Teflon®氣體陷阱、內部抽水工具和溫度控制吸氣器。該室還包括一個粒子監控器，用於檢測大小為0.1和更小的顆粒，以保持清潔。該室包括兩個樣品持有者。上部支架用於晶片和滑軌，下部支架用於尺寸較小的芯片、片斷和樣品。它是由高品位的不銹鋼制成，旨在提供快速的熱化和高精度的樣品放置。該資產可用於各種材料薄膜的沈積，從而產生具有極好均勻性的樣品。它配備了先進的軟件和直觀的用戶界面，使用戶能夠在沈積過程中輕松控制和操縱參數。該模型是微電子學、光學、材料科學等領域研究人員的重要工具。
還沒有評論