二手 ASM Advance 300 VT #9206100 待售
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ID: 9206100
優質的: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT是為現代晶圓制造工藝而設計的擴散爐及配件設備。它提供最先進的高溫退火控制，為復雜的擴散過程提供精確的均勻性。Advance 300 VT具有獨特的垂直技術設計以提高均勻性,以及創新的兩區控制,以實現卓越的過程控制和溫度精度。先進的冷卻控制系統采用冷墻和配電盤的組合設計，確保最大吞吐量和單位效率。該機配備了三個熱電偶套筒和多達24個熱電偶點，可在整個晶片上進行卓越的溫度感測。ASM Advance 300 VT的垂直設計消除了晶圓的溫度變化,確保了關鍵過程的高精度和重復性。這種高精度的工具還提供了無與倫比的工藝能力，允許精確的溫度控制和嚴密的公差。Advance 300 VT能夠支持從傳統晶片制造到超高溫的工藝要求,用於納米材料制造等先進工藝。此外,該資產還具有適應各種石英船配置的靈活性,尤其是那些具有復雜設計特征（如通道和其他復雜特征）的配置。這樣可以實現最大的過程靈活性,並有助於優化生產操作。ASM Advance 300 VT由於其先進的散熱系統和熱控制系統,能夠在所有晶圓位置保持異常均勻的溫度。此外,它在技術設計和產品靈活性方面具有相當大的工程優勢,包括低功耗、低調設計以及易於訪問所有組件。它還提供了多種選項,包括用於工藝優化的低熱循環開關,以及用於提高靈活性的重力鉸鏈模型。總體而言，Advance 300 VT是一種用於現代晶圓制造工藝的高度可靠和精確的擴散爐及附件設備。擁有先進的溫控系統，優越的均勻性，靈活的設計能力，用於優化生產操作。
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