二手 ASM Advance 300 VT #9206101 待售
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單擊可縮放
ID: 9206101
優質的: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
General configuration:
System layout type: U/Box type(I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Gas 1 / N2(30SLM)
Gas 2 / O2(20SLM)
Gas 3 / HCL
Gas 4 / N2O
Gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Nupro
MFC Unit
Wafer/Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris/704-503T2
(25) Cassette wafers
(16) Cassette storage
Fork type/Material
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Does not include boat rotation
System controls:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element pre burner
Signal tower colors: G/A/B
General pressure display units: Pressure PSI
Cabinet exhaust display units: H2O
ASM Furnace temp controller
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
HIA Group controller
Power input:
Voltage: 3-Phase, 208VAC
Voltage: 1-Phase, 120VAC
UPS Input / Output voltage: 120V/100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT是ASM International製造的擴散爐及配件系統。它被設計成一個模塊化、全面的蝕刻和沈積系統，其中包含適用於半導體研究和制造、MEMS研究和制造以及太陽能電池生產等廣泛應用的組件。Advanced 300 VT具有成功擴散爐運行的幾個關鍵特性。它配備了真空擴散爐、單級低壓工藝室、用於溫度控制的高溫計和熱電偶，以及電阻加熱的磁化器。該爐還包括一個用於氣體排氣控制的獨立控制的高溫計。該爐由於加熱和冷卻周期功耗低，能耗極低，有助於降低整體成本。為了更精確地控制過程,Advanced 300 VT包括用於控制溫度變化率的數字Varian 801源,以及用於實時控制過程參數的板載微處理器。微處理器還與圖形用戶界面或可編程邏輯控制器（PLC）結合使用，以方便調整擴散爐參數。該爐與其它設備無縫集成，如用於控制基板對準和溫度曲線的On-Wafer掃描儀。它還有許多手動和自動化的步驟來確保完美的均勻性，如自動溫度控制和流量控制。Advanced 300 VT還擁有高速、高精度的工藝周期,可實現更高的吞吐量。由於自動配置文件控制,它能夠縮短流程時間,並且能夠根據需要修改流程參數。真空室還提供恒溫，以實現有效的最佳擴散，並包含一個磁感器卡盤，以防止碎片進入腔室並造成損壞。Advanced 300 VT還設計用於安全級別1和級別2的安全功能,並采用特殊設計,以保護用戶在正常運行期間免受熱輻射和溫度過高的影響。Advanced 300-VT提供精確、可重復的流程周期,使用戶能夠提高生產效率和可靠性。它是研究和制造應用的完美選擇，因為它的多功能性、高效的操作和卓越的可擴展性。
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