二手 ASM Furnace #195512 待售

ASM爐是為滿足矽器件制造工藝不斷發展的需要而設計的擴散爐。其低溫均勻性和高精度溫度控制在廣泛的應用中提供了一致的加熱過程和可靠的操作。這使得它非常適合制造微電子器件如MEMS器件、集成電路和薄膜晶體管。ASM爐采用先進的空氣或氫氣凈化大氣設計。這使得Furnace可以在沒有氧氣或二氧化硫的大氣中在500°C-1200 °C之間運行。這樣就可以在整個ASM爐中實現低溫均勻的熱量分布，從而實現高度精確的溫度控制。熔爐還配備了先進的安全功能，如工藝傳感器、隔熱裝置和隔熱裝置，以保護內部部件免受高溫環境的影響。ASM負載鎖允許均勻加熱基板,同時最大程度地減少汙染.在ASM爐運行期間，通過在基板進入爐子之前清除大氣中的氣體和顆粒，負載鎖還可以防止排出氣體。這意味著底物是在進入腔室之前為沈積過程準備的。ASM擴散ASM爐還包括用於溫度控制的高性能步進電機.與步進電動機集成的水平設計可以精確控制沈積過程。這也可以將基板精確加熱至高達1200 °C的溫度,而不會造成熱失控。為了提高數據精度,Furnace配備了靈敏的熱成像設備.該系統記錄溫度讀數，並允許ASM爐在需要時激活溫度控制系統。先進的軟件還為用戶提供了擴散過程中基板熱穩定性的詳細分析。爐子還設計有一個加熱元件，由二矽化銨（MoSi2）加熱器-屏蔽組件組成。加熱器屏蔽裝置可保護組件免受溫度升高的影響,並防止熱失控。此外，ASM Furnace還配備了冷卻風扇和過濾器，以保持機組冷卻和不積塵。ASM擴散爐配有多種配件,可實現最佳運行.這些附件包括氣體控制單元、鎖載百葉窗、惰性氣體供應系統、樣品支撐機和排氣工具。氣體控制單元使用戶能夠控制擴散過程中使用的氣體類型和大氣中氣體的濃度。樣品支撐資產允許將基板精確放置在腔室內以獲得最佳結果。