二手 ASM MIR 3000 #293615954 待售

ASM MIR 3000
ID: 293615954
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
CVD Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一種為復雜沈積和加工作業的卓越性能和先進控制而設計的擴散爐。該爐提供快速加熱和冷卻以及控制良好的加熱剖面,使高端設備的生產具有準確性和可重復性。MIR 3000具有節能設計,利用獨特的雙室設備,通過單個加熱器室提供全溫度控制。這種雙室系統由兩個大退火區組成,中央控制室具有高精度的熱、真空和過程控制。該設計有助於確保爐膛內所有區域的均勻溫度分布。ASM MIR 3000利用先進的兩區擴散加熱剖面,更精確地調節沈積過程的加熱和冷卻周期。因此,可以在更大的表面上實現均勻且可重復的薄膜厚度,從而實現卓越的性能。該裝置能夠達到高達3100 °C的溫度,允許在各種先進材料上進行高溫應用。該爐設計具有多種安全特性,保證最大限度的用戶保護。箱形絕緣設計有助於減少熱量損失,而集成保護機器可確保腔室在運行過程中不會打開。自動循環結束熱關閉功能進一步確保了腔室不會過熱。MIR 3000包括一個自動過程控制工具,使用戶能夠快速、輕松地編程可重復的加熱配置文件。直觀的Control Center軟件允許操作員輕松設置參數,例如溫度、時間、壓力、氣體使用情況以及其他與過程相關的信息。此軟件還提供強大的可視化功能,用戶可以實時監視和管理與流程相關的數據。總體而言,ASM MIR 3000是先進設備生產的理想工具,提供卓越的性能和精確的溫度控制。憑借先進的散熱能力、可靠的溫度調節和直觀的控制系統,這種擴散爐是生產精確度較高的高端器件的有力工具。
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