二手 ASM MIR 3000 #293639064 待售

ASM MIR 3000是一種最先進的擴散爐,專門設計用於快速、均勻地加熱厚度不超過3英寸厚的薄基板。這種耐用而堅固的設備能夠處理高達2,000 °C的溫度，使其成為金屬蝕刻、氧化物生長和摻雜劑活化應用的理想選擇。MIR 3000具有串聯電源控制系統,可在整個蝕刻過程中提供精確一致的電源。這樣可以確保均勻加熱、均勻蝕刻速率和可重復結果。該機組還集成了一個強大的強制風扇循環機器，連續循環和疏散反應室，消除了碳擴散和更高的熱質量負荷的影響。該爐的先進設計允許大管的均勻加熱，而高效的螺旋電阻爐膛線圈保證了均勻的傳導和可靠的運行。爐膛線圈裝在一個自支撐結構中，這樣可以在爐子裝滿大基板時消除任何掛斷或額外的重量。ASM MIR 3000還提供了方便的功能,如可編程數字顯示器、具有內存功能的用戶友好的可編程中央處理器以及易於操作的軟件,以便於過程管理。它還具有若幹安全功能，以確保安全運行和避免潛在事故，包括內置的緊急關閉和輻射監測功能。MIR 3000是工業過程和各種測試實驗室的強大而可靠的工具，包括那些從事化學氣相沈積（CVD）、快速熱處理（RTP）、蝕刻和beta測試的實驗室。由於其溫度範圍，ASM MIR 3000也可用於多種退火應用。總體而言，MIR 3000是一種用途廣泛的擴散爐，能夠始終如一地可靠地加工三英寸厚的基板。這種堅固的擴散爐是滿足工業和實驗室繁忙需求的理想選擇，可節省成本和高效運行。