二手 ASM MIR 3000 #293639066 待售

ASM MIR 3000
ID: 293639066
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一種可提供可靠和經濟高效處理的擴散爐及附件設備。它旨在為擴散過程提供一個幹凈的環境。它利用高溫惰性氣氛,既可用於低合金和非合金鋼基板的應用,也可用於金屬塗層。MIR 3000具有先進的高精度電源,可確保在處理過程中輸出一致和溫度一致。其溫度控制和精度使其易於調整至所需溫度並保持最佳效率。該系統還具有快速、高精度的計算機控制傳感器,可準確檢測故障、故障排除和報告問題以立即解決。ASM MIR 3000旨在實現最大的靈活性和易用性。它提供了廣泛的操作模式和高級控制選項,包括流程周期分析和警報設置。它還帶有熱分析和監測,以確保爐子不同部分溫度的均勻性和準確的溫度跟蹤。機組擁有強大的冷卻機,確保加工完成後快速安全停止。它還包括一個保護架,以便在擴散過程中安全地固定基板。該爐的設計考慮到安全性,具有緊急停止功能,機電過程互鎖,以及一個監控溫度和清除過程的閉環工具。為了更方便,MIR 3000配備了一系列全面的附件,包括法蘭和傳感器、熱電偶、配件和適配器。總體而言,ASM MIR 3000是一種先進的擴散爐資產,能夠提供高精度的擴散處理以及安全性和可靠性。對於合金和非合金鋼基板,使用方便,價格合理,效率高。
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