二手 ASM MIR 3000 #9228362 待售

ASM MIR 3000
ID: 9228362
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一種適合高溫應用的擴散爐及配件設備。它旨在在安全和受控的環境中創建高效的生產過程,其模塊化設計使其成為各種應用程序的通用工具。系統的主要部件是垂直插入的擴散爐、熱蒸發器和敏感器支架。該爐由一種非磁性材料制成,包括石英管、端蓋和它們各自的密封件。爐子有一個內置的進料通道,便於進入加工室裝卸物料和工具。熱蒸發器由高耐熱性的氧化鋁陶瓷管組成。集成了內部熱電偶以準確監測溫度。支撐結構由鋼制底盤組成,其支撐可以調整以適合單個應用程序。擴散爐的反應室足夠大,一次容納多塊。它有一個電子束加熱器,以均勻的方式將材料加熱到高溫。腔室加壓,采用石墨絕緣,便於加熱過程。該單元還包括一個可調的火炬,它允許W-T比率進行調整,以適應各種各樣的應用。為確保安全、受控的擴散處理,腔室通向外部,並配有可調氣流開關。該機具備先進的安全監控功能,確保安全高效運行。它有多個用於溫度控制的熱電偶,以及一個用於精確材料分析的光譜儀。物料的裝卸是通過集成的進給方式完成的,轉移機理與反應室隔離。此外,磁感器還裝有位置控制工具,以確保它保持在適當的位置,盡管高溫和可能的振動。MIR 3000設計用於商業和工業應用,也用於高溫過程的研發。其模塊化設計允許對資產進行定制以適應個人需求。ASM MIR 3000以其堅固的結構和高效的運行,是一種可靠可靠的高溫應用解決方案。
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