二手 ASM MIR 3000 #9228941 待售

ASM MIR 3000是一種擴散爐及其附件，設計用於包括氧化物和氮化物生長在內的各種過程。配備可靠經濟的供熱技術、高精度的溫度控制、先進的氣體控制系統。MIR 3000還包括若幹保護工人和設備的安全系統。ASM MIR 3000具有頂裝式爐膛,其設計目的是提供最大的熱均勻性,以確保一致的處理結果。它還有兩個獨立的供暖區，可以加熱到1500 °C，從而可以根據需要在每個區內設置不同的溫度。在溫度控制方面,MIR 3000提供20步可編程加熱配置文件,以及先進的快速熱處理技術,可在幾秒鐘或幾分鐘內達到高達1600°C的溫度水平,並具有快速的熱循環。該爐還包括先進的氣體控制系統和有助於降低氣體滲透率和蒸發損失的多層氣密表面。為了額外的安全，ASM MIR 3000有幾個冗余真空聯鎖，以及紅外和高溫計系統來監測和幫助防止人為錯誤。MIR 3000可與多種材料結合形成工藝包以獲得最佳效果。這種方法被稱為基於體系結構的流程設計，允許操作員根據應用微調參數並自定義流程。ASM MIR 3000還與各種計算機輔助過程控制（CPC）軟件程序兼容，這些程序旨在簡化爐子的運行和優化過程結果。這包括各種功能,如預編程、多區域控制、過程監視和數據日誌記錄。總之，MIR 3000是一種高品質、用途廣泛的擴散爐及其配件，專為各種工藝而設計。它提供了可靠經濟的加熱技術、精確的溫度控制、先進的氣體控制系統以及基於體系結構的工藝設計。其CPC軟件支持還有助於在擴散過程中最大限度地減少用戶錯誤並提高效率。