二手 ASM MIR 3000 #9235099 待售

ASM MIR 3000是一種開創性的低溫擴散爐，專為使用Czochralski （Cz）法生產單晶矽錠而設計。它具有創新、節能的感應加熱系統，具有快速冷卻能力和精密的控制邏輯。它旨在提供卓越的工藝穩定性和性能,以及更統一的產品質量。MIR 3000包括一個用戶友好的界面,旨在方便設置、操作和維護。它還具有自動操作功能,並對過程中的監控和分析進行一致、明確、可重現的過程。它的四個監測和過程控制系統提供詳細的統計過程控制，確保特性的低變化和結果的均勻性。ASM MIR 3000最高運行溫度可達2,000 °C，其熱源為三相電機發電機，可在1,800-2,000°C範圍內實現高效、均勻的加熱。它還具有多種冷卻選項,從強制芳基化冷卻到80°C/分鐘,再到水淬火冷卻,冷卻速率高達23°C/分鐘。它的快速冷卻能力有助於避免晶石結晶和分離。MIR 3000配備了額外的配套設備，如石英加熱器、電感線圈，以及完整的溫度和安培控制系統。其先進的工藝控制使得工藝時間、保持時間、加熱速率等關鍵參數的設置和調整變得容易，從而保證了產品的高品質。其軟件提供詳細的流程管理數據，並允許多步驟編程和執行。總體而言，這使得ASM MIR 3000成為生產單晶矽錠的理想擴散爐。其卓越的工藝穩定性、快速的冷卻能力和高效的控制系統，使其成為可靠、經濟高效的生產裝置。適用於研究和工業大批量生產。