二手 ASM MIR 3000 #9235122 待售

ASM MIR 3000擴散爐及其相關配件提供了一種在半導體晶片表面形成和整合微觀材料層的可靠有效方法。MIR 3000系統使用擴散過程在晶圓上創建各種結構和組件，如柵極氧化物層、互連通氣和外延層。這些部件構成整個半導體器件或設備的構件。除了擴散之外，ASM MIR 3000系統提供離子植入能力，允許創建摻雜區域和層，以便控制半導體單元的電導率。MIR 3000機床采用快速熱瞬變和對室內環境的嚴密控制，為優化擴散性能和工藝可重復性而設計核心爐。該爐采用專門的六區室設計，對每個工藝區進行精確的溫度控制，同時還提供低誘導蝕刻環境，允許制造精細的裝置特征尺寸。爐子的雙室配置為批量式退火工藝提供了額外的選擇。ASM MIR 3000工具還能夠制造高質量的外延和其他氧化物層，以及薄膜電介質和接觸金屬堆叠層。這些層通常用作絕緣層、柵極氧化物和晶體管。該資產有一個負載鎖定模型，以確保每一個過程都有可重復的起點和終點，以及一個快速加熱和冷卻閘閥，用於快速清除和隔離運行之間的腔室。裝備MIR 3000設備，以達到最佳性能；通過增加一個電子控制系統、一個專用冷卻裝置和一個監測子系統來擴大爐子。電子控制機允許對整個過程周期進行精確控制。專用冷卻工具用於穩定表面溫度，防止晶圓和腔內基板之間不必要的熱傳遞。監控資產為溫度運動提供實時反饋,並允許在線調整過程參數。ASM MIR 3000模型是一種在半導體晶片表面上形成、整合和制造材料層的極其可靠和高效的方法，允許為各種電子器件創建專用元件。該設備能夠快速、準確地加工各層組件，是半導體器件制造的絕佳選擇。