二手 ASM MIR 3000 #9259684 待售
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ID: 9259684
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000是為研究和生產過程而設計的高溫真空擴散爐和成像設備。用於Si集成電路處理和封裝器件、高溫氧化、沈積、熱退火、摻雜活化等廣泛應用。MIR 3000是一個健壯的自動化系統,適用於實驗室和工業應用,具有易於使用的圖形界面。ASM MIR 3000具有雙晶片功能,具有通用的執行環境,允許用戶加載單獨的過程配方,並通過精確的溫度控制和強制冷卻段的控制獨立執行。它有熱電堆和額外的冷壁管來監測熱區的溫度均勻性，其範圍可達1650°C。氣流可以精確調整以獲得最佳均勻性，熱區蓋的可變定位為各種過程提供精確的壓力控制。MIR 3000還具有高分辨率成像單元，板載電子束和晶片盒式磁帶，多粒子探測器，內置晶片級，基於頻率的晶片取向。它還配備了全套自動化功能，包括按需晶圓訂購、實時過程監控、配方創建等等。ASM MIR 3000專為易於維護和可維護性而設計。它采用模塊化設計,便於更換零件,其高效的冷卻機因溫度波動而減少了停機時間。MIR 3000還具有操作員控制的熱區摻雜激活和自動壓力和溫度控制等眾多安全特性。為確保最大程度的過程連續性和可重復性，對ASM MIR 3000進行持續監測和調整，以防止積聚過噴霧或除氣殘留物。它的集成真空互鎖工具提供故障安全操作，其監測系統警告任何未註意到的過程故障。總體而言,MIR 3000是多種生產和研究應用的多功能強大資產。它旨在提供可靠、可靠的性能,具有高度自動化的過程以及對溫度、壓力和流量的精確控制。該模型的不同組件用戶友好,易於在生產環境中與其他組件集成,從而使用戶能夠以最大的產量實現過程一致性。
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