二手 ASM MIR 3000 #9259685 待售

ASM MIR 3000
ID: 9259685
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一種擴散爐及附件,利用紅外(IR)輻射加熱技術在擴散過程的所有階段對金屬進行加熱和均質。它設計用於汽車、醫療、航空航天和電子工業。MIR 3000采用閉環氮流系統,確保在整個過程中精確控制溫度。加熱的氮流圍繞金屬樣品和整個腔室循環,在那裏均勻分布,以獲得最佳的熱效率。氮流使熱量遠離樣品,保持均勻擴散更一致的溫度。ASM MIR 3000還采用了PLC技術,使流程自動化並確保流程可重復性。其控制器利用具有快速采樣間隔的數據采集系統,允許精確的溫度控制、傾斜和停留時間。它還通過操作員界面實時提供有關過程的反饋。該單元的氧化室減少了材料樣品的損失量。它在保持最佳氫氣氣氛並提供保護性和均勻環境的同時,將氧氣從腔室中除去。這允許平滑擴散,沒有任何塵埃顆粒或汙染。MIR 3000具有強大且易於維護的設計,旨在最大程度地提高安全性。它利用安全蓋子,通過擴散過程保持鎖定,並配有排氣系統。ASM MIR 3000提供從500到1400C的一系列工藝溫度,每小時最多可擴散45磅。它還配有多種配件,如冷卻板、裝卸鉗子、熱電偶測量裝置和碳化鎢推進器。MIR 3000是一種可靠、堅固的擴散爐,適合在多個行業中擴散多種金屬。ASM MIR 3000以其精確的溫度控制、氧化室、PLC控制器和自動化過程,幫助優化擴散過程,以達到最大效率。
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