二手 ASM MIR 3000 #9261811 待售

ASM MIR 3000
ID: 9261811
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000是用於處理各種材料的擴散過程專用爐。它由幾個組件組成,這些組件用於為各種擴散相關過程創建優化的環境。容納擴散室的主要部件由堅固耐蝕的不銹鋼結構制成,並采用模塊化結構。這樣就可以針對任何給定的擴散過程定制許多自定義配置。腔室采用特殊的低速氣流加熱和冷卻,確保擴散過程不會達到擴散過程中可能出現的臨界溫度。這樣可以在不影響正在處理的材料質量的情況下進行擴散過程。該腔室的設計包含若幹可調節的溫度,這些溫度可用於為任何擴散過程提供必要的條件。這樣就可以在不需要不斷調整參數的情況下進行這一過程。MIR 3000還包括擴散室的各種配件,如爐控制器和高性能真空泵。高性能真空泵使機器能夠在整個擴散過程中保持壓力和溫度均勻性。這有助於確保處理的材料得到一致的處理。控制器是一個基於計算機的系統,為用戶提供對溫度、真空和與擴散過程相關的其他參數的完全控制。這允許用戶為任何特定的擴散過程定制參數,在整個過程中給出精度和準確性。ASM MIR 3000還允許方便維護,因為所有部件都可以輕松拆卸並重新組合在一起。這樣,無需訂購新零件即可更輕松地維修和維修系統。綜上所述,MIR 3000是一個專用的擴散爐,具有若幹可定制的功能,旨在為各種擴散相關過程創建優化的環境。它具有低速氣流加熱和冷卻、可調溫度、爐控制器和高性能真空泵,以保持精度和準確性。所有零件都是牢固地制造的,在必要時可以很容易地拆卸和修理。
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